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江苏省半导体行业污染物排放标准(DB323747-2020)

文章出处:万家博官网 人气:发表时间:2020-12-17 13:25

  北极星大气网讯:日前,江苏发布《江苏省半导体行业污染物排放标准》(DB32/3747-2020)。涉及大气污染物、水污染物等限值。全文如下:

  本标准规定了半导体企业的水污染物和大气污染物排放限值、监测和监控要求,以及标准实施与监督等相关规定。

  本标准实施后,国家新发布的行业标准严于本标准时,应执行国家标准。环境影响评价文件或排污许可证要求严于本标准时,按照批复的环境影响评价文件或排污许可证执行。

  本标准规定了半导体企业的水污染物和大气污染物排放标准限值、监测要求、达标判定、实施与监督。

  本标准适用于半导体企业的水污染物排放管理、大气污染物排放管理,以及半导体企业排污许可管理、建设项目环境影响评价、建设项目环境保护设施设计、竣工验收及其投产后的污染控制与管理。

  半导体企业与污水集中处理设施采用协商方式确定企业水污染物间接排放限值时,污水集中处理设施的水污染物排放管理也适用于本标准。

  下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。

  HJ/T 28 固定污染源排气中氰化氢的测定 异烟酸-吡唑啉酮分光光度法

  HJ 75 固定污染源烟气(SO2、NOx、颗粒物)排放连续监测技术规范

  HJ 76 固定污染源烟气(SO2、NOx、颗粒物)排放连续监测系统技术要求及检测方法

  HJ 604 环境空气 总烃、甲烷和非甲烷总烃的测定 直接进样-气相色谱法

  HJ 644 环境空气 挥发性有机物的测定 吸附管采样-热脱附/气相色谱-质谱法

  HJ 734 固定污染物源废气 挥发性有机物的测定 固相吸附-热脱附/气相色谱-质谱法

  HJ 777 空气和废气 颗粒物中金属元素的测定 电感耦合等离子体发射光谱法

  指本标准实施之日起环境影响评价文件通过审批的新建、改建和扩建的半导体工业建设项目。

  为两家及两家以上排污单位提供污水处理服务的污水处理设施,包括各种规模和类型的城镇污水集中处理设施、工业集聚区(经济技术开发区、高新技术产业开发区、出口加工区等各类工业园区)污水集中处理设施,以及其他由两家及两家以上排污单位共用的污水处理设施等。

  企业或生产设施排放到企业法定边界外的废水量。包括与生产有直接或间接关系的各种外排废水(含厂区生活污水、冷却废水、厂区锅炉和电站废水等)。

  参与大气光化学反应的有机化合物,或者根据有关规定确定的有机化合物。在表征VOCs总体排放情况时,根据行业特征和环境管理要求,可采用总挥发性有机物(以TVOC表示)、非甲烷总烃(以NMHC表示)作为污染物控制项目。

  采用规定的监测方法,检测器有明显响应的除甲烷外的碳氢化合物的总称(以碳计)。本标准使用“非甲烷总烃(NMHC)”作为排气筒和厂界挥发性有机物排放的综合控制指标。

  采用规定的监测方法,对废气中的单项挥发性有机物进行测量,加和得到挥发性有机物的总量,以单项挥发性有机物的质量浓度之和计。实际工作中,应按预期分析结果,对占总量90%以上的单项挥发性有机物进行测量,加和得出。

  温度为273.15K、压力为101 325 Pa 时的状态。本标准规定的大气污染物排放浓度限值均以标准状态下的干气体为基准。

  指半导体工业企业的法定边界。若难以确定法定边界,则指企业的实际占地边界。

  4.2 企业向城镇污水处理厂排放废水时,其第二类水污染物排放应达到表1中间接排放限值;废水进入具备处理此类污水工艺和能力的集中式工业废水处理厂的企业,其第二类水污染物排放可与集中式工业污水处理厂商定间接排放限值,并签订协议报当地环境保护主管部门备案。企业与集中式工业废水处理厂商定的间接排放限值,不得宽于《污水综合排放标准》中规定的接管限值。未签订协议的企业,其第二类水污染物执行表1中的间接排放限值。

  4.3在国土开发密度高、环境承载能力开始减弱,或水环境容量较小、生态环境脆弱,容易发生严重水环境污染问题而需要采取特别保护措施地区的企业,根据生态环境保护工作要求,执行表1规定的特别排放限值。

  执行水污染物特别排放限值的地域范围、时间,由省级生态环境主管部门或设区市人民政府规定。

  在企业的生产设施同时生产两种以上产品,可适用不同排放控制要求或不同行业污染物排放标准时,且生产设施产生的污水混合处理排放的情况下,应执行排放标准中规定的最严格的浓度限值,并按公式(1)换算水污染物基准水量排放浓度:

  5.1.3 进入VOCs燃烧(焚烧、氧化)装置的废气含氧量可满足自身燃烧、氧化反应,不需另外补充空气的(燃烧器需要补充空气助燃的除外),以实测浓度作为达标判定依据,但装置出口烟气含氧量不得高于装置进口废气含氧量。

  吸附、吸收、冷凝、生物、膜分离等其他VOCs处理设施,以实测浓度作为达标判定依据,不得稀释排放。

  进入VOCs燃烧(焚烧、氧化)装置的废气需要补充氧气(空气)进行燃烧、氧化反应的,排气筒中实测大气污染物排放浓度,应按公式(2)换算为基准含氧量为3%的大气污染物基准排放浓度。

  5.1.5 当执行不同排放控制要求的废气合并排气筒排放时,应在废气混合前进行监测,并执行相应的排放控制要求;若可选择的监控位置只能对混合后的废气进行监测,则应按各排放控制要求中最严格的规定执行。

  6.1.1 企业应按照《环境监测管理办法》等规定,建立企业监测制度,制定监测方案,对污染物排放状况及其对周边环境质量的影响开展自行监测,保存原始监测记录,并公布监测结果。

  6.1.2 企业安装污染源排放自动监控设备的要求,按有关法律和《污染源自动监控管理办法》的规定执行。

  6.1.3 企业应按照环境监测管理规定和技术规范的要求,设计、建设、维护永久性采样口、采样测试平台和排污口标志。

  6.1.4 对企业排放的废水和废气的采样,应根据监测污染物的种类,在规定的污染物排放监控位置进行。有废水、废气处理设施的,应在该设施后监控。

  6.2.3 本标准发布实施后,表5所列污染物如有新发布的国家环境监测分析方法标准,其方法适用范围和条件相同的,也适用于本排放标准对应污染物的测定。

  6.3.3 本标准发布后,表6所列污染物如有新发布的国家环境监测分析方法标准,其方法适用范围和条件相同的,也适用于本排放标准对应污染物的测定。

  7.1 采用手工监测时,按照相关监测技术规范要求获取的监测结果超过本标准排放浓度限值的,判定为排放超标。各级生态环境主管部门在对企业进行监督性检查时,可以现场即时采样或监测的结果,作为判定排污行为是否符合排放标准以及实施相关环境保护管理措施的依据。

  7.2 企业按照法律法规及标准规范要求与生态环境部门联网的自动监测有效数据,大气污染物以任意1小时平均浓度值作为达标考核的依据,水污染物以日均值作为达标考核的依据。

  8.1 新建企业自2020年7月1日起,现有企业自2022年7月1日起执行本标准。

  8.3 在任何情况下,企业均应遵守本标准的污染物排放控制要求,采取必要措施保证污染防治设施正常运行。

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